Design and characterization of a high-sensitivity AlN/ScAlN-based PMUT array for high-resolution underwater acoustic imaging

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标题	Design and characterization of a high-sensitivity AlN/ScAlN-based PMUT array for high-resolution underwater acoustic imaging
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S026322412...
DOI	10.1016/j.measurement.2026.120305 doi
其它	期刊：Measurement 作者：Zhiwen Dai; Chao-Shuai Zhang; Fansheng Meng; Guo-Jun Zhang; Renxin Wang; et al 出版日期：2026-03-01
求助人	超帅小笼包在 2026-09-22 16:53:35 发布自中国，悬赏 10 积分
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