An infrared study of the surface chemistry of titanium nitride atomic layer deposition on silica from TiCl4 and NH3

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标题	An infrared study of the surface chemistry of titanium nitride atomic layer deposition on silica from TiCl4 and NH3
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2006.03.013
DOI	10.1016/j.tsf.2006.03.013 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：Mark Q. Snyder; Benjamin A. McCool; Joseph DiCarlo; Carl P. Tripp; William J. DeSisto 出版日期：2006-08-01
求助人	Roy 在 2026-09-24 20:02:05 发布自福建，悬赏 10 积分
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