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标题
Area selective deposition of ruthenium on 3D structures
网址
https://pubs.aip.org/avs/jva/article-pdf/doi/10.1116/6.00021...
DOI
10.1116/6.0002148 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A
作者：Kartik Sondhi; R. Sharangpani; Ramy Nashed Bassely Said; J. Nag; M. Gribelyuk; et al
出版日期：2022-12-01
求助人
okiya 在 2026-10-13 10:36:35 发布自天津，悬赏 10 积分
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  • 1天前

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