High-fidelity multilayer etching in virtual fabrication via offline reinforcement learning - 科研通

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标题	High-fidelity multilayer etching in virtual fabrication via offline reinforcement learning
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2026.110640
DOI	10.1016/j.mssp.2026.110640 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：J. D. Guo; Lin Fu; Mingqiang Geng; Hao Bai; Qingshuang Xu; et al 出版日期：2026-03-27
求助人	无风风在 2026-09-29 16:03:43 发布自北京，悬赏 10 积分
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