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标题
Indium zinc oxide semiconductor thin films deposited by dc magnetron sputtering at room temperature
室温直流磁控溅射沉积铟锌氧化物半导体薄膜
相关领域
铟 锌 材料科学 溅射沉积 半导体 光电子学 薄膜 腔磁控管 溅射 氧化物 锌化合物 冶金 纳米技术
网址
https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2010.03.004
DOI
10.1016/j.vacuum.2010.03.004 doi
其它 期刊：Vacuum
作者：G.F. Li; Jitong Zhou; Ya-Yong Huang; Ming Yang; Jiahan Feng; et al
出版日期：2010-03-17
求助人
韩健勇 在 2025-12-29 13:29:34 发布自福建，悬赏 10 积分
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