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Indium zinc oxide semiconductor thin films deposited by dc magnetron sputtering at room temperature

铟 锌 材料科学 溅射沉积 半导体 光电子学 薄膜 腔磁控管 溅射 氧化物 锌化合物 冶金 纳米技术
作者
G.F. Li,Jitong Zhou,Ya-Yong Huang,Ming Yang,Jiahan Feng,Q. Zhang
出处
期刊：Vacuum [Elsevier]
日期：2010-03-17 卷期号：85 (1): 22-25 被引量：21
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2010.03.004
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