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Complex mechanism of polyamines in copper chemical mechanical polishing: a combined simulation and experimental study
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网址
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2025.164296
DOI
10.1016/j.apsusc.2025.164296 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Bin Luo; Yue He; Baohong Gao; Hongguo Zhang; Yadong Zhu
出版日期：2025-08-08
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浪漫反派 在 2025-11-23 11:52:28 发布自上海，悬赏 10 积分
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