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 Simulation of unsteady thermal-flow field for modified chemical vapor deposition (MCVD) process 改进化学气相沉积（MCVD）过程的非稳态热流场模拟
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期刊：International Journal of Thermal Sciences 作者：Yingjuan Zhang; Nian Liu; Xiaojia Li; Fengwei Chen; Bo Yang; et al 出版日期：2021-10-25 |
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