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Low-temperature hybrid bonding with high electromigration resistance scheme for application on heterogeneous integration 应用于异质集成的高电迁移电阻低温混合键合
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期刊:Applied Surface Science 作者:Zhong-Jie Hong; Demin Liu; Hanwen Hu; Chien-Kang Hsiung; Chih-I Cho; et al 出版日期:2022-10-28 |
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