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 Simulation of Diamond Disc Conditioning in Chemical Mechanical Polishing: Effects of Conditioning Parameters on Pad Surface Shape 化学机械抛光中金刚石圆盘修整的模拟：修整参数对焊盘表面形状的影响
相关领域
抛光
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期刊：ASME 2010 International Manufacturing Science and Engineering Conference, Volume 2 作者：Emmanuel A. Baisie; Z. C. Li; X. H. Zhang 出版日期：2011-04-23 |
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