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标题
Evaluation of tin nitride (Sn3N4) via atomic layer deposition using novel volatile Sn precursors
相关领域
锡 原子层沉积 氮化物 图层（电子） 沉积（地质） 材料科学 氮化钛 化学工程 化学 冶金 纳米技术 工程类 生物 古生物学 沉积物
网址
http://dx.doi.org/10.1039/d3dt02138f
AI链接 nih.govdoi.org
DOI
10.1039/d3dt02138f doi
其它 期刊：Dalton Transactions
作者：Hyeonbin Park; Heenang Choi; Sunyoung Shin; Bo Keun Park; Kibum Kang; et al
出版日期：2023-01-01
求助人
sukiyaki 在 2026-01-10 21:11:53 发布自重庆，悬赏 10 积分
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