Conformal polishing of NiP grating microstructures using SiO2/Al2O3 mixed abrasive slurry

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标题	Conformal polishing of NiP grating microstructures using SiO2/Al2O3 mixed abrasive slurry 相关领域抛光夹磨料泥浆材料科学共形映射微观结构化学机械平面化冶金复合材料几何学数学
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.precisioneng.2025.06.017
DOI	10.1016/j.precisioneng.2025.06.017 doi
求助人	唐tang 在 2026-03-29 18:38:11 发布自四川，悬赏 10 积分
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