Atomic layer deposition and characterization of Zn-doped Ga2O3 films

已完结

文献求助详情

标题	Atomic layer deposition and characterization of Zn-doped Ga2O3 films 相关领域退火（玻璃）无定形固体材料科学镓原子层沉积电介质薄膜分析化学（期刊）沉积（地质）兴奋剂纳米技术光电子学化学工程冶金结晶学化学生物沉积物古生物学工程类色谱法
网址	https://doi.org/10.1116/6.0000838
DOI	10.1116/6.0000838 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Zsófia Baji; Ildikó Cora; Zsolt E. Horváth; Emil Agócs; Zoltán Szabó 出版日期：2021-03-29
求助人	袁指导在 2026-03-04 11:01:30 发布自四川，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通的所有服务均免费，并承诺对个人用户永久免费！

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 歌儿完成签到，获得积分10

1秒前; 学者风范完成签到，获得积分10

1秒前; miracle完成签到，获得积分10

4秒前; pjy完成签到，获得积分10

4秒前; heekkll完成签到，获得积分10

4秒前; charlie完成签到，获得积分10

6秒前; 哈哈啊哈完成签到，获得积分10

9秒前; 张永媚完成签到，获得积分10

9秒前; 充电宝上传了应助文件

9秒前; 端庄的立辉发布了新的文献求助10

11秒前; 研友_VZG7GZ上传了应助文件

11秒前; 传奇3的应助被诱饵钓鱼采纳，获得20

11秒前; 爆米花上传了应助文件

12秒前; Crisp完成签到，获得积分10

12秒前; 小白完成签到，获得积分10

13秒前; LH发布了新的文献求助10

14秒前; 斯文败类上传了应助文件

15秒前; wanci的应助被爱听歌诗云采纳，获得10

15秒前; dde的应助被掏粪男孩采纳，获得10

15秒前; 小白发布了新的文献求助10

16秒前; 眼睛大的南风完成签到，获得积分10

16秒前; 目土土完成签到，获得积分10

17秒前; 哈哈啊哈发布了新的文献求助10

17秒前; 才能小裤衩完成签到，获得积分10

17秒前; Ahui完成签到，获得积分10

19秒前; 丑丑阿发布了新的文献求助10

20秒前; xu完成签到，获得积分10

21秒前; 123完成签到，获得积分10

21秒前; Viiigo完成签到，获得积分10

21秒前; 田様的应助被墨尔本的晴空采纳，获得30

22秒前; wfw完成签到，获得积分10

24秒前; z610938841完成签到，获得积分10

24秒前; 渡人舟的应助被掏粪男孩采纳，获得10

25秒前; 友好胜完成签到，获得积分10

25秒前; sky关闭了sky的文献求助

28秒前; z610938841发布了新的文献求助150

28秒前; 吕怡水发布了新的文献求助30

28秒前; 烟花上传了应助文件

28秒前; bkagyin上传了应助文件

29秒前; windfly完成签到，获得积分10

30秒前