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标题
193-nm positive-tone bilayer resist based on norbornene-maleic anhydride copolymers
网址
https://doi.org/10.1117/12.388282
DOI
10.1117/12.388282 doi
其它 期刊：Advances in Resist Technology and Processing XVII
作者：Francis M. Houlihan; Ratnam Sooriyakumaran; Debra Fenzel-Alexander; Phillip J. Brock; Carl E. Larson; et al
出版日期：2000
求助人
1878 在 2026-03-23 15:28:36 发布自甘肃，悬赏 20 积分
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