On the electrical asymmetry effect in large area multiple frequency capacitively coupled plasmas

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标题	On the electrical asymmetry effect in large area multiple frequency capacitively coupled plasmas
网址	http://dx.doi.org/10.1088/0022-3727/47/6/065201
DOI	10.1088/0022-3727/47/6/065201 doi
求助人	安好在 2026-05-20 14:07:00 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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