| 标题 |
Ion-beam sputter-deposited SiN/TiN attenuating phase-shift photoblanks |
| 网址 | |
| DOI |
10.1117/12.410762
doi
|
| 其它 |
期刊:SPIE Proceedings 作者:Laurent Dieu; Peter F. Carcia; Hideaki Mitsui; Kunihiko Ueno 出版日期:2001-01-22 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成,仅限求助人下载。 |
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)