Guided random synthetic layout generation and machine-learning based defect prediction for leading edge technology node development

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标题	Guided random synthetic layout generation and machine-learning based defect prediction for leading edge technology node development
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.3051134
DOI	10.1117/12.3051134 doi
其它	期刊：DTCO and Computational Patterning IV 作者：Geng Han; Mohamed Talbi; Monirul Islam; Rajiv Sejpal; Brad Austin; et al 出版日期：2025-04-22
求助人	tester_gater 在 2026-07-22 15:45:45 发布自上海，悬赏 20 积分
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