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标题
Digital Etching of Molybdenum Interconnects Using Plasma Oxidation
网址
DOI
10.1002/admi.202400558 doi
其它 期刊:Advanced Materials Interfaces
作者:Ivan Erofeev; Antony Winata Hartanto; Muhaimin Mareum Khan; Kerong Deng; Krishna Kumar; et al
出版日期:2024-11-12
求助人
不想搞科研 在 2026-07-10 14:30:13 发布自湖北,悬赏 10 积分
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