| 标题 |
 Mask space optimization (MSO) for ILT and SMO: reinforcement learning–driven recipe tuning 相关领域
配方
计算机科学
空格（标点符号）
钢筋
噪音（视频）
工程制图
人工智能
工程类
算法
数学
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| 网址 | |
| DOI |
10.1117/12.3093843
doi
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| 其它 |
期刊：DTCO and Computational Patterning V 作者：Kihun Kim; C. Jay Lee; Kyle Braam; Joachim Siebert; Jinho Yang; et al 出版日期：2026-04-21 |
| 求助人 | |
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(2025-6-4)
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