A novel frequency tracking method based on improved ESC control method for megasonic cleaning system

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标题	A novel frequency tracking method based on improved ESC control method for megasonic cleaning system
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.ultras.2026.108258
DOI	10.1016/j.ultras.2026.108258 doi
其它	期刊：Ultrasonics 作者：Tianyu Peng; Yuanxin Wu; Liangxuan Yang; Qianghua Wang; Yu Kang; et al 出版日期：2027-01-01
求助人	拼搏的听南在 2026-09-09 16:26:24 发布自山东，悬赏 10 积分
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