Many routes to ferroelectric HfO2: A review of current deposition methods

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标题	Many routes to ferroelectric HfO2: A review of current deposition methods
网址	https://doi.org/10.1116/6.0001317
DOI	10.1116/6.0001317 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Hanan Alexandra Hsain; Young H. Lee; Monica Materano; Terence Mittmann; Alexis Payne; et al 出版日期：2021-12-01
求助人	坚定的剑通在 2026-08-28 15:18:17 发布自四川，悬赏 10 积分
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