Chemical evolution of target surfaces during RF magnetron sputtering and its effect on the performance of TCO films

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标题	Chemical evolution of target surfaces during RF magnetron sputtering and its effect on the performance of TCO films
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2019.07.021
DOI	10.1016/j.apsusc.2019.07.021 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Junyan Wu; Zhihao Wang; Fei Chen; Qiang Shen; Lianmeng Zhang 出版日期：2019-07-10
求助人	一起长大的约定在 2026-09-02 14:05:45 发布自四川，悬赏 10 积分
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