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标题
Magnetron sputtering of hot silicon carbide target
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S025789722...
DOI
10.1016/j.surfcoat.2026.133455 doi
其它 期刊：Surface & Coatings Technology
作者：V. Grudinin; M. Fisher; G. Bleykher; D. A. Ashikhmin; Raul D. Rodriguez; et al
出版日期：2026-05-01
求助人
魁梧的尔安 在 2026-09-18 10:52:03 发布自江苏，悬赏 10 积分
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