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标题
Data-driven scheduling for the photolithography process in semiconductor manufacturing
相关领域
光刻 半导体器件制造 计算机科学 调度（生产过程） 过程（计算） 制造工程 制造工艺 工业工程 运营管理 工程类 材料科学 纳米技术 操作系统 薄脆饼 复合材料
网址
https://doi.org/10.3934/jimo.2024157
DOI
10.3934/jimo.2024157 doi
其它 期刊：Journal of Industrial and Management Optimization
作者：Cheng‐Ting Huang; Tsung-Jung Hsieh; Bertrand M.T. Lin
出版日期：2024-12-17
求助人
Zizi 在 2025-10-27 17:24:51 发布自北京，悬赏 30 积分
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