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 Effect of Horizontal Magnetic Field Position on Oxygen Distribution in CZ Silicon Crystal Growth 水平磁场位置对CZ硅晶体生长中氧分布的影响
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期刊：Vacuum 作者：Qipeng Zou; Sheng Wang; Weinan Chen; Yang Rui; Haoran Ni; et al 出版日期：2024-05-08 |
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