An Analytical Equivalent Circuit Model for Optimization Design of a Broadband Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer With an Annular Diaphragm

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标题	An Analytical Equivalent Circuit Model for Optimization Design of a Broadband Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer With an Annular Diaphragm 环形膜片宽带压电微机械超声换能器优化设计的解析等效电路模型相关领域 PMUT公司等效电路声学压电超声波传感器宽带材料科学频率响应电阻抗传感器电容式微机械超声换能器电子工程计算机科学工程类电压电气工程物理电信
网址	https://doi.org/10.1109/tuffc.2019.2928147 AI链接 nih.govdoi.org
DOI	10.1109/tuffc.2019.2928147 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Ultrasonics Ferroelectrics and Frequency Control 作者：Tingzhong Xu; Libo Zhao; Zhuangde Jiang; Shuaishuai Guo; Zhikang Li; et al 出版日期：2019-07-11
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