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The comprehensive study of thermal properties of tris(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato)cobalt(III) related to the chemical vapor deposition of Co-oxide based thin film materials
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DOI
10.1016/j.vacuum.2022.110969 doi
其它 期刊:Vacuum
作者:S. I. Dorovskikh; Darya Klyamer; A. M. Makarenko; Kseniya V. Zherikova; A. E. Turgambaeva; et al
出版日期:2022-02-21
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