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The comprehensive study of thermal properties of tris(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato)cobalt(III) related to the chemical vapor deposition of Co-oxide based thin film materials

氧化钴 化学气相沉积 氧化物 钴 分析化学（期刊） X射线光电子能谱 拉曼光谱 材料科学 亚稳态 热分解 化学 化学工程 无机化学 纳米技术 有机化学 光学 物理 冶金 工程类
作者
S. I. Dorovskikh,Darya Klyamer,A. M. Makarenko,Kseniya V. Zherikova,A. E. Turgambaeva,Yu. V. Shevtsov,Danila B. Kal’nyi,И. К. Игуменов,Natalia B. Morozova
出处
期刊：Vacuum [Elsevier]
日期：2022-02-21 卷期号：199: 110969-110969 被引量：9
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2022.110969
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