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  Investigation of high speed β-Ga2O3 growth by solid-source trihalide vapor phase epitaxy 相关领域
三卤化物
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Kyohei Nitta; Kohei Sasaki; Akito Kuramata; Hisashi Murakami 出版日期：2023-03-24 |
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