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Atomic Layer Deposition of Zinc Oxide: Diethyl Zinc Reactions and Surface Saturation from First-Principles 氧化锌的原子层沉积:基于第一性原理的二乙基锌反应和表面饱和
相关领域
锌
原子层沉积
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沉积物
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期刊:The Journal of Physical Chemistry C 作者:Timo Weckman; Kari Laasonen 出版日期:2016-08-31 |
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