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Fabrication of high aspect ratio, non-line-of-sight vias in silicon carbide by a two-photon absorption method
双光子吸收法在碳化硅中制备高纵横比非视线通孔
相关领域
制作 中间层 材料科学 薄脆饼 光电子学 碳化硅 纵横比（航空） 硅 通过硅通孔 逐渐变细 集成电路 纳米技术 计算机科学 蚀刻（微加工） 复合材料 病理 图层（电子） 替代医学 计算机图形学（图像） 医学
网址
https://www.nature.com/articles/s41598-024-52672-6.pdf
AI链接 nature.com nature.com nih.gov nih.gov nih.gov doaj.orgdoi.org
DOI
10.1038/s41598-024-52672-6 doi
其它 期刊：Scientific Reports
作者：Jared E. Payne; P. R. Nyholm; Ryan T. Beazer; Joseph Eddy; Hunter Stevenson; et al
出版日期：2024-01-25
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rui 在 2025-12-06 15:20:55 发布自四川，悬赏 10 积分
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