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标题
Plasma assisted remediation of SiC surfaces
SiC表面的等离子体辅助修复
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网址
https://doi.org/10.1063/5.0203539
DOI
10.1063/5.0203539 doi
其它 期刊：Journal of Applied Physics
作者：M. Mathews; Andrew R. Graves; David R. Boris; Scott G. Walton; C.D. Stinespring
出版日期：2024-04-15
求助人
GuanYZ 在 2025-12-06 08:16:55 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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