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Investigation of the Electronic Properties of Silicon Carbide Films with Varied Si/C Ratios Annealed at Different Temperatures 不同Si/C比碳化硅薄膜在不同温度下退火的电子性能研究
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期刊:Crystals 作者:Dan Shan; Daoyuan Sun; Menglong Wang; Yunqing Cao 出版日期:2023-12-28 |
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