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 Study of MEMS Touch-Mode Capacitive Pressure Sensor Utilizing Flexible SiC Circular Diaphragm: Robust Design, Theoretical Modeling, Numerical Simulation and Performance Comparison 基于柔性SiC圆形膜片的MEMS触摸模式电容压力传感器的研究：稳健设计、理论建模、数值模拟和性能比较
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期刊：Journal of Circuits, Systems, and Computers 作者：Sumit Kumar Jindal; Madoo Varma; Deepali Thukral 出版日期：2018-12-03 |
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