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Model-based double dipole lithography for sub-30nm node device
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DOI
10.1117/12.864081 doi
其它 期刊:Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者:A-Young Je; Soo‐Han Choi; Jeonghoon Lee; Ji-Young Lee; James Word; et al
出版日期:2010-09-28
求助人
啤酒人 在 2025-11-28 15:11:19 发布自安徽,悬赏 20 积分
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