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 Indium-free Zn-Sn-Al-O based thin-film transistors fabricated by plasma-enhanced atomic layer deposition 等离子体增强原子层沉积制备无铟Zn-Sn-Al-O基薄膜晶体管
相关领域
材料科学
原子层沉积
铟
图层（电子）
薄膜晶体管
等离子体
沉积（地质）
光电子学
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薄膜
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生物
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期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Shice Wei; Xiaojun Yu; Bojia Chen; Jiyuan Zhu; Xuefeng Wu; et al 出版日期：2025-02-07 |
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