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 First Demonstration of BEOL-Compatible Co-Sputter Deposited $\text{Te}_{1-x} \text{Se}_{x}$ p-FETs Enabling 3D Stackable Oxide Semiconductor CFET, DRAM, and First CFET-Structured SRAM |
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| 其它 |
期刊：2025 Symposium on VLSI Technology and Circuits (VLSI Technology and Circuits) 作者：Ying Xu; Yiyuan Sun; Zuopu Zhou; Zijie Zheng; Sheng Luo; et al 出版日期：2025-06-08 |
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