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Growth of homoepitaxial single crystal diamond by microwave plasma CVD in H2-CH4-O2 gas mixtures at high microwave power densities
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DOI
10.1016/j.diamond.2024.111721 doi
其它 期刊:Diamond and Related Materials
作者:A. P. Bolshakov; V. Yu. Yurov; Irina Fedorova; Artem Martyanov; Pavel V. Fedotov; et al
出版日期:2024-10-30
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