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Evaluation of Ion Angle Deviation Caused by Outgassing during Ion Implantation |
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期刊:2018 22nd International Conference on Ion Implantation Technology (IIT) 作者:Sho Kawatsu; Aki Ninomiya; Kazuhiro Watanabe; Michiro Sugitani; yoji kawasaki; et al 出版日期:2018-09-01 |
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(2025-6-4)