Finite element simulation-based prediction of CMOS-compatible pyroelectric material in MEMS IR detectors

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标题	Finite element simulation-based prediction of CMOS-compatible pyroelectric material in MEMS IR detectors
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.microrel.2023.115076
DOI	10.1016/j.microrel.2023.115076 doi
其它	期刊：Microelectronics Reliability 作者：Ranu; Pankaj B. Agarwal 出版日期：2023-08-01
求助人	hanfeilbq 在 2026-07-22 14:38:42 发布自广东，悬赏 10 积分
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