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标题
Effects of pre-deposition annealing prior to gate insulator deposition in planar AlGaN/GaN MIS-HEMT with a thin AlGaN barrier layer
网址
https://doi.org/10.1063/5.0316094
DOI
10.1063/5.0316094 doi
其它 期刊：Applied Physics Letters
作者：Takuma Nanjo; Masayuki Furuhashi; Tatsuro Watahiki; Takashi Egawa
出版日期：2026
求助人
waitingfor 在 2026-06-16 20:38:10 发布自江苏，悬赏 10 积分
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  • 23天前

    waitingfor waitingfor Lv5 求助人 发起了本次求助

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