Alternative mask materials for low-k1 EUV imaging

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标题	Alternative mask materials for low-k1 EUV imaging
网址	https://doi.org/10.1117/12.2535682
DOI	10.1117/12.2535682 doi
其它	期刊：35th European Mask and Lithography Conference (EMLC 2019) 作者：Frank J. Timmermans; Claire van Lare; Jo Finders 出版日期：2019-08-29
求助人	斯文败类虎在 2026-06-02 14:15:10 发布自广东，悬赏 20 积分
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