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 Wafer-Scale Demonstration of BEOL-Compatible Ambipolar MoS2 Devices Enabled by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition 相关领域
材料科学
双极扩散
原子层沉积
薄脆饼
图层（电子）
原子单位
纳米技术
等离子体
光电子学
沉积（地质）
沉积物
古生物学
物理
生物
量子力学
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| 其它 |
期刊：ACS Applied Materials & Interfaces 作者：Alberto Martínez‐Cuezva; Carlos Márquez; Felipe J. Lorenzo; Francisco Gutiérrez; Manuel Caño‐García; et al 出版日期：2025-09-05 |
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