High temperature phase transformation of tantalum nitride films deposited by plasma enhanced atomic layer deposition for gate electrode applications - 科研通

发布文献求助

已完结

文献求助详情

标题	High temperature phase transformation of tantalum nitride films deposited by plasma enhanced atomic layer deposition for gate electrode applications
网址	https://doi.org/10.1063/1.2643085
DOI	10.1063/1.2643085 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Raghavasimhan Sreenivasan; Takuya Sugawara; Krishna C. Saraswat; Paul C. McIntyre 出版日期：2007
求助人	房西的水在 2026-06-01 13:03:07 发布自上海，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。

上个求助

下个求助

American Chemical Society (ACS)

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

学术共进，科研互通

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: CipherSage上传了应助文件

1秒前; Gorone完成签到，获得积分10

1秒前; 1111000发布了新的文献求助10

1秒前; 科研通AI6.2的应助被小巧元容采纳，获得10

2秒前; 11111关闭了11111的文献求助

3秒前; JIAYIWANG发布了新的文献求助10

3秒前; fairy发布了新的文献求助10

3秒前; XIAOMEI的应助被yy采纳，获得10

3秒前; Sea_U上传了应助文件

4秒前; 啦啦啦发布了新的文献求助10

5秒前; 粗暴的醉卉完成签到，获得积分10

5秒前; 852的应助被靓丽的觅荷采纳，获得10

5秒前; 在水一方上传了应助文件

5秒前; 打打的应助被靓丽的觅荷采纳，获得10

6秒前; 深情安青的应助被靓丽的觅荷采纳，获得10

6秒前; 可爱的函函的应助被靓丽的觅荷采纳，获得10

6秒前; 科研通AI2S的应助被靓丽的觅荷采纳，获得50

6秒前; 田様的应助被靓丽的觅荷采纳，获得10

6秒前; Owen的应助被ffchen111采纳，获得10

6秒前; 脑洞疼的应助被靓丽的觅荷采纳，获得10

6秒前; 李健的应助被靓丽的觅荷采纳，获得10

6秒前; ding的应助被靓丽的觅荷采纳，获得50

7秒前; 汉堡包的应助被靓丽的觅荷采纳，获得10

7秒前; 所所上传了应助文件

7秒前; 李洪晔发布了新的文献求助10

7秒前; 微笑沂完成签到，获得积分20

7秒前; 万能图书馆的应助被jianjian采纳，获得20

8秒前; 无花果的应助被123采纳，获得10

8秒前; 琳琳完成签到，获得积分20

9秒前; 乐章关注了科研通微信公众号

9秒前; 万能图书馆的应助被Mandy采纳，获得10

10秒前; 1111000完成签到，获得积分10

10秒前; 落后的蚂蚁发布了新的文献求助10

10秒前; 微笑沂发布了新的文献求助10

11秒前; vvv发布了新的文献求助10

11秒前; Lucas上传了应助文件

11秒前; dde上传了应助文件

11秒前; bkagyin的应助被甜甜的冰淇淋采纳，获得10

11秒前; 大个上传了应助文件

12秒前; 琳琳发布了新的文献求助10

12秒前

高分求助中: (应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000; Developing Genetic Editing Tools for Lysobacter 2000; 卤化钙钛矿人工突触的研究 2000; Моделирование процессов самоорганизации в кристаллообразующих системах 1000; History of U.S. Space Surveillance and Satellite Cataloging 1000; Adhesion Science: Principles & Practice 800; Signals, Systems, and Signal Processing 610

热门求助领域（近24小时）

热门帖子: 关注科研通微信公众号，转发送积分 6520287; 求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 8313288; 关于积分的说明 17780155; 捐赠科研通 5622418; 什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2927083; 邀请新用户注册赠送积分活动 1903985; 关于科研通互助平台的介绍 1764368

今日热心研友

潇洒的惋清

AllRightReserved

仰望喀纳斯的星空

注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10

Copyright © 2020-2026 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved

科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力

本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播

皖ICP备2024041134号-1

皖公网安备34019202002308

科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】

科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入

关注微信服务号

科研通