A Study of Post Process Wafer-Less Chamber Clean Recipe in Lele Process

已完结

文献求助详情

标题	A Study of Post Process Wafer-Less Chamber Clean Recipe in Lele Process
网址	https://doi.org/10.1109/CSTIC61820.2024.10531977
DOI	10.1109/CSTIC61820.2024.10531977 doi
其它	期刊：2024 Conference of Science and Technology for Integrated Circuits (CSTIC) 作者：Xinruo Su; Jun Wang; Liang Du 出版日期：2024
求助人	fffccclll 在 2026-03-22 01:42:23 发布自重庆，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

上个求助

下个求助

National Center for Biotechnology Information

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通的所有服务均免费，并承诺对个人用户永久免费！

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: MRchen完成签到，获得积分10

刚刚; CipherSage的应助被朴实的翎采纳，获得10

刚刚; 天天快乐上传了应助文件

刚刚; 天天快乐的应助被斯文鱼采纳，获得10

刚刚; Ing的应助被111采纳，获得10

1秒前; HYN上传了应助文件

1秒前; 爱吃香菜完成签到，获得积分10

1秒前; yp发布了新的文献求助10

1秒前; 北冥有鱼完成签到，获得积分10

1秒前; Orange上传了应助文件

2秒前; 火星上的羽毛完成签到，获得积分10

2秒前; 大个上传了应助文件

2秒前; success发布了新的文献求助30

2秒前; 田田田田发布了新的文献求助10

2秒前; 傲娇诗发布了新的文献求助10

2秒前; 大个的应助被娜美采纳，获得10

3秒前; 慕青上传了应助文件

3秒前; 科研通AI2S的应助被苯巴比妥采纳，获得10

3秒前; eufhuew的应助被谨慎甜瓜采纳，获得10

3秒前; 道阻且长发布了新的文献求助10

4秒前; 7ccc完成签到，获得积分20

4秒前; 彩色思真完成签到，获得积分10

4秒前; 狂野飞柏发布了新的文献求助10

4秒前; 科研通AI6.2的应助被langjidong采纳，获得30

5秒前; 沸羊羊的应助被ZungJyu采纳，获得20

5秒前; 上官若男上传了应助文件

5秒前; 彭于晏上传了应助文件

5秒前; 为十发布了新的文献求助10

5秒前; 科研通AI6.4的应助被LZ采纳，获得10

5秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

5秒前; hug完成签到，获得积分10

5秒前; 五分钟热度的小羊完成签到，获得积分10

6秒前; 小秋发布了新的文献求助10

6秒前; 干净的琦的应助被JinpengWang采纳，获得30

6秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

6秒前; 星辰大海上传了应助文件

7秒前; 脑洞疼的应助被YHQ采纳，获得10

7秒前; 王森发布了新的文献求助10

7秒前; j7337完成签到，获得积分10

7秒前; aloopp发布了新的文献求助10

8秒前