Layer-by-layer growth of silicon nitride films by NH3 and SiH4 - 科研通

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标题	[高分] Layer-by-layer growth of silicon nitride films by NH3 and SiH4 相关领域氮化硅图层（电子）硅氮化物材料科学逐层工程物理纳米技术光电子学物理
网址	https://doi.org/10.1051/jp4:1999841
DOI	10.1051/jp4:1999841 doi
其它	期刊：Journal de Physique IV (Proceedings) 作者：Takeshi Watanabe; Masao Sakuraba; Takashi Matsuura; Junichi Murota 出版日期：1999-09-01
求助人	大脚在 2025-10-28 14:23:04 发布自湖北，悬赏 50 积分
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