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Layer-by-layer growth of silicon nitride films by NH3 and SiH4

氮化硅图层（电子）硅氮化物材料科学逐层工程物理纳米技术光电子学物理

作者

Takeshi Watanabe,Masao Sakuraba,Takashi Matsuura,Junichi Murota

出处

期刊：Journal de physique [Springer Science+Business Media]
日期：1999-09-01 卷期号：09 (PR8): Pr8-340 被引量：3

标识

DOI：10.1051/jp4:1999841

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