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 Preparation and characterization of hydrogenated diamond-like carbon films in a dual DC-RF plasma system 双DC-RF等离子体体系中氢化类金刚石薄膜的制备与表征
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期刊：Journal of Physics D Applied Physics 作者：Hongxuan Li; Tao Xu; Jianmin Chen; Huidi Zhou; Huiwen Liu 出版日期：2003-11-25 |
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