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标题
Single crystal AlGaN bulk acoustic wave resonators on silicon substrates with high electromechanical coupling
相关领域
谐振器 金属有机气相外延 材料科学 Crystal(编程语言) 功勋 压电 化学气相沉积 联轴节(管道) 光电子学 分析化学(期刊) 复合材料 计算机科学 化学 外延 有机化学 程序设计语言 图层(电子)
网址
DOI
10.1109/rfic.2016.7508261 doi
其它 期刊:
作者:J.B. Shealy; Michael D. Hodge; Pinal Patel; Ramakrishna Vetury; Alexander Yu. Feldman; et al
出版日期:2016-05-01
求助人
123 在 2025-09-28 15:21:15 发布自福建,悬赏 10 积分
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