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Printing line/space patterns on nonplanar substrates using a digital micromirror device-based point-array scanning technique
使用基于数字微镜器件的点阵列扫描技术在非平面基底上印刷线/空间图案
相关领域
数字微镜装置 激光线宽 光学 平版印刷术 材料科学 光刻 光刻胶 光掩模 极紫外光刻 光电子学 激光器 抵抗 物理 纳米技术 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1016/j.optlaseng.2017.10.009
DOI
10.1016/j.optlaseng.2017.10.009 doi
其它 期刊：Optics and Lasers in Engineering
作者：Hung-Fei Kuo; Guan-Hsuan Kao; Liang-Xiu Zhu; Kuo‐Shu Hung; Yu-Hsin Lin
出版日期：2017-10-24
求助人
虚拟的尔烟 在 2025-07-30 09:37:38 发布自广东，悬赏 10 积分
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